厚みねじれ振動を用いた高感度QCMセンサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/09/22

タイトル(英語): A micro-mass sensor by QCM vibrator using Thickness Twist Mode

著者名: 岡田 直剛(日本ガイシ(株)),菊池 尊行(日本ガイシ(株)),大杉 幸久(日本ガイシ(株))

著者名(英語): Naotake Okada(NGK Insulators,LTD),takayuki kikuchi(NGK Insulators,LTD),Yukihisa Ohsugi(NGK Insulators,LTD)

キーワード: QCM|ATカット水晶振動子|厚みすべり振動|厚みねじれ振動|においセンサ|バイオセンサ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 684 Kバイト