熱誘起ナノシリコン超音波素子の作製と音波特性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05020

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/09/22

タイトル(英語): Fabrication technique and acoustic characteristics of thermally induced nanocrystalline silicon emitters

著者名: 木原 隆(山武),原田 敏裕(山武),越田 信義(東京農工大)

著者名(英語): Takashi Kihara(Yamatake Corporation),Toshihiro Harada(Yamatake Corporation),Nobuyoshi Koshida(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: ナノ結晶シリコン|熱誘起超音波素子|陽極酸化

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 881 Kバイト