スピンコートシーディング法を用いた多結晶ダイヤモンド圧力センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/09/22

タイトル(英語): Polycrystalline diamond pressure sensor using spin coat seeding method

著者名: 三嶋 和幸(埼玉大学),高橋 幸郎(埼玉大学)

著者名(英語): Kazuyuki Mishima(Saitama University),Kohro Takahashi(Saitama University)

キーワード: スピンコートシーディング、多結晶ダイヤモンド、圧力センサ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 945 Kバイト