高精度MEMS低G加速度センサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS05023

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2005/09/22

タイトル(英語): A Precision MEMS Low-G Accelerometer

著者名: 番 政広(三菱電機),平田 義明(三菱電機),武田 宗久(三菱電機),大谷 浩(三菱電機),春田 健雄(三菱プレシジョン)

著者名(英語): Masahiro Tsugai(Mitsubishi Electric Corp.),Yoshiaki Hirata(Mitsubishi Electric Corp.),Munehisa Takeda(Mitsubishi Electric Corp.),Hiroshi Ohtani(Mitsubishi Electric Corp.),Kenyu Haruta(Mitsubishi Precision Co.,LTD)

キーワード: 容量型加速度センサ|スケールファクタ安定性|バイアス安定性|バルクマイクロマシニング

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 736 Kバイト