MEMS技術を用いた白金薄膜熱抵抗変化型水素ガスセンサの研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS06001

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Research on Thermo-resistive Platinum Thin Film Hydrogen Gas Sensor Fabricated by MEMS Techniques

著者名: チンウドンポン エッカリン(早稲田大学大学院情報生産システム研究科),王蕾 (早稲田大学大学院情報生産システム研究科),山崎 大輔(早稲田大学大学院情報生産システム研究科),植田 敏嗣(早稲田大学大学院情報生産システム研究科)

著者名(英語): Ekkarin Chinudomporn(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University),Lei Wang(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University),Daisuke Yamazaki(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University),Toshitsugu Ueda(Graduate School of Information,Production and Systems,Waseda University)

キーワード: MEMS| 白金薄膜|センサ|水素ガス|リフトオフ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 911 Kバイト