Cr-N感歪薄膜とその圧力センサ応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS06007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Cr-N strain sensitive thin films and their pressure sensor applications

著者名: 丹羽 英二(電気磁気材料研究所,東北職業能力開発大学校),佐々木 祥弘(電気磁気材料研究所,東北職業能力開発大学校),増本 剛(電気磁気材料研究所,東北職業能力開発大学校),本間基文 (東北職業能力開発大学校)

著者名(英語): Eiji Niwa(The Research Institute for electric and Magnetic Materials,Tohoku Polytechnic College),Yoshihito Sasaki(The Research Institute for electric and Magnetic Materials,Tohoku Polytechnic College),Katashi Masumoto(The Research Institute for electric and Magnetic Materials,Tohoku Polytechnic College),Motofumi Homma(Tohoku Polytechnic College)

キーワード: Cr-N| 感歪薄膜|A15型結晶構造|ひずみゲージ|圧力センサ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,129 Kバイト