Cr-NおよびFe-Pd薄膜の温度･歪同時計測触覚センサへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS06008

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Application to temperature and strain sensitive tactile sensor of Cr-N and Fe-Pd thin films.

著者名: 佐々木 祥弘(電気磁気材料研究所),丹羽 英二(電気磁気材料研究所),増本 剛(電気磁気材料研究所)

著者名(英語): Yoshihiro Sasaki(The Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Eiji Niwa(The Research Institute for Electric and Magnetic Materials),Katashi Masumoto(The Research Institute for Electric and Magnetic Materials)

キーワード: 触覚センサ|温度センサ|ひずみセンサ|温度感度|歪感度|薄膜

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,279 Kバイト