新しい離型層を用いた付着法によるNiカンチレバーの作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS06009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Ni Cantilever Fabrication by Transfer Process using New Release Layer

著者名: 川田 博昭(大阪府立大学),藤井 宏紀(大阪府立大学),安田 雅昭(大阪府立大学),平井 義彦(大阪府立大学)

著者名(英語): Hiroaki Kawata(Osaka Prefecture University),Hironori Fujii(Osaka Prefecture University),Masaaki Yasuda(Osaka Prefecture University),Yoshihiko Hirai(Osaka Prefecture University)

キーワード: 移植法|SU-8|離型層|TiO2|PMMA|UV照射|ムリリース力|Niカンチレバー

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,627 Kバイト