微小構造体の三次元立体と振動パターンの実時間白色干渉映像法

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS06010

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Real-time Visualization of Surface Profile and Vibrations of Micro-Structures with White Light Interferometry

著者名: 佐藤世智 (東京大学大学院),栗原 徹(東京大学大学院),安藤 繁(東京大学大学院)

著者名(英語): Seichi Sato(The University of Tokyo),Toru Kurihara(The University of Tokyo),Shigeru Ando(The University of Tokyo)

キーワード: 白色干渉計|振動計測|微小構造|時間相関イメージセンサ

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,358 Kバイト