フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロセンサの特性改善

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS06012

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Improvement of Resonant Frequency Properties of Ultrasonic Micro Sensor Using the Amorphous Fluorocarbon Polymer Film

著者名: 田中 恒久(大阪府立産業技術総合研究所),李昇穆 (大阪府立産業技術総合研究所),井上 幸二(大阪府立産業技術総合研究所),青柳 誠司(関西大学),山下 馨(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学)

著者名(英語): Tsunehisa Tanaka(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Seungmock Lee(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Koji Inoue(Technology Research Institute of Osaka Prefecture),Seiji Aoyagi(Kansai University),Kaoru Yamashita(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University)

キーワード: 超音波センサ|マイクロアレイセンサ|共振周波数|メンブレン|樹脂|MEMS技術

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 979 Kバイト