ダイオードサーミスタ搭載薄膜ピラニー真空センサの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS06014

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2006/05/15

タイトル(英語): Study on Thin Film Pirani Vacuum Sensor with Diode-Thermistors

著者名: 米倉 洋(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Hiroshi Yonekura(Tohoku-Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku-Gakuin University)

キーワード: 圧力センサ|真空センサ|ピラニーゲージ|温度センサ|サーミスタ|pn接合|マイクロヒータ|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 982 Kバイト