ＭＥＭＳジャイロ・加速度センサとその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/02/01

タイトル(英語): Current Status and Applications of MEMS Gyroscopes and Acceleration Sensors

著者名: 前中一介 (兵庫県立大学),小原弘士 (兵庫県立大学),三木 芳彦(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),高山 洋一郎(兵庫県立大学)

著者名(英語): Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Hiroshi Kohara(University of Hyogo),Yoshihiko Miki(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Yoichiro Takayama(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|ジャイロスコープ|角速度センサ|加速度センサ|MEMS|Gyroscope|Angular velocity sensor|Acceleration Sensor

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 722 Kバイト