ＣＭＯＳ集積回路を用いた片面電極液体封入式傾斜センサに関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07015

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/02

タイトル(英語): One side electrode type fluid-based inclinometer combined with CMOS circuitry

著者名: アスルルニザム ビン アブドル マナフ (慶應義塾大学),中村 和正(慶應義塾大学),松本 佳宣(慶應義塾大学)

著者名(英語): Asrulnizam Bin Abd Manaf (Keio University),Kazumasa Nakamura(Keio University),Yoshinori Matsumoto(Keio University)

キーワード: 傾斜計|表面張力|電気二重層|ＳＵ-８|キャパシタンスセンサ|Inclinometer|surface tensioning|electrical double layer|SU-8|capacitance sensor

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 792 Kバイト