DRIEによる極細スリーブ型光ファイバー圧力センサ形成

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/02

タイトル(英語): Fabrication of Ultra Miniature Optical Fiber Pressure Sensor with a Sleeve by DRIE

著者名: 嶋田 勝斗(埼玉大学),島田 誠(埼玉大学),高橋 幸郎(埼玉大学)

著者名(英語): Masato Shimada(Saitama University),Makoto Shimada(Saitama University),Koro Takahashi(Saitama University)

キーワード: DRIE|圧力センサ|光ファイバー|Deep Reactive Ion Etching|Pressure sensor|Optical fiber

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 423 Kバイト