ＤＭＤ露光機の多重露光モードによるコンデンサマイクロホンの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07020

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/02

タイトル(英語): A trial fabrication of a condenser microphone by multiple exposure on photo sensitive resist

著者名: 田口 正敏(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学)

著者名(英語): Masatoshi Taguchi(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo)

キーワード: ＤＭＤ|多重露光|マイクロホン|マスクレス|ＳＵ-８|DMD|multiple lithography|microphone|maskless|SU-8

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 555 Kバイト