リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07022

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/02

タイトル(英語): New fabrication method of cantilever without lithography process

著者名: 川田 博昭(大阪府立大学),新甫純也 (大阪府立大学),安田 雅昭(大阪府立大学),平井 義彦(大阪府立大学)

著者名(英語): Hiroaki Kawata(Osaka Prefecture University),Jyunya Shinbo(Osaka Prefecture University),Masaaki Yasuda(Osaka Prefecture University),Yoshihiko Hirai(Osaka Prefecture University)

キーワード: リソグラフィ無しプロセス|移植法|離型層|TiO2|PMMA|UV照射|無リリース力|Niカンチレバー|lithographyl free process|transfer process|release layer|TiO2|PMMA|UV exposure|release force free|Ni cantilever

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 580 Kバイト