適度な傾斜形状を有するCr/Siマイクロカンチレバー構造を用いた多軸触覚センサの作製と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07023

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/02

タイトル(英語): Fabrication and Characterization of Multi-axis Tactile Sensors with Reasonably Sloped Cr/Si Micro Cantilever Structures

著者名: 寒川 雅之(大阪大学),黄裕銘 (大阪大学),金島 岳(大阪大学),山下 馨(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),野田 実(京都工芸繊維大学),池田 正哲(オムロン),野間 春生(国際電気通信基礎技術研究所)

著者名(英語): Masayuki Sohgawa(Osaka University),Yu-Ming Huang(Osaka University),Takeshi Kanashima(Osaka University),Kaoru Yamashita(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology),Masaaki Ikeda(Omron),Haruo Noma(ATR)

キーワード: 触覚センサ|剪断力計測|表面マイクロマシニング|カンチレバー|エラストマー|tactile sensor|shear stress sensing|surface micromachining|cantilever|elastomer

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 371 Kバイト