MEMSミラースキャナとその制御回路の集積化に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07025

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/02

タイトル(英語): Integration of MEMS Scanning Mirror and Its Control Circuit

著者名: 李宥憲 (東京大学),中田宗樹 (東京大学),藤田 博之(東京大学),年吉 洋(東京大学)

著者名(英語): Yuheon Yi(University of Tokyo),Muneki Nakada(University of Tokyo),Hiroyuki Fujita(University of Tokyo),Hiroshi Toshiyoshi(University of Tokyo)

キーワード: |MEMS scanner|CMOS-MEMS integration|PLL|MATLAB Simulink|Electroplating

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 954 Kバイト