絶対温度比例出力型温度センサとその薄膜ピラニ真空センサへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07026

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/07/02

タイトル(英語): Proportional Output Type Absolute Temperature Sensor and Its Application to the Thin-Film Pirani Vacuum Sensor

著者名: 高嶋 徳明(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Noriaki Takashima(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 温度センサ|ダイオード|半導体|温度比例出力|交流信号|真空センサ|ピラニゲージ|ダイオードヒータ|MEMS|自己加熱|temperature sensor|diode|semiconductor|proportional output to the temperature|AC signal|vacuum sensor|Pirani gauge|diode heater|MEMS|self-heating

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 622 Kバイト