力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07035

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/12/07

タイトル(英語): Micro quartz-crystal resonator for force sensing

著者名: 高橋 彰宏(東北大学),小野 崇人(東北大学),江刺 正喜(東北大学)

著者名(英語): Akihiro Takahashi(Tohoku university),Takahito Ono(Tohoku university),Masayoshi Esashi(Tohoku university)

キーワード: 水晶振動子|走査型プローブ顕微鏡| ばね定数| セルフセンシング|セルフアクチュエーション|バッチプロセスによる探針作製

要約(日本語): 走査型プローブ顕微鏡での力計測のための、カンチレバー形状の水晶振動子をウェハ直接接合と半導体マイクロマシニングを用いて作製した。この振動子は、セルフセンシング・セルフアクチュエーション・低いばね定数という特徴がある。したがって、このカンチレバーはレーザーによる変位検出システムを用いず、カンチレバー自身で振動する機能を持ち、力感度が高い。加えて、SPM計測のための先鋭な探針をXeF2によるシリコン等方性エッチングによってカンチレバー先端に形成している。この水晶カンチレバーは様々な環境下で高度なセンシングを実

要約(英語): Cantilever-shaped quartz-crystal resonators for Scanning Probe Microscopy (SPM) based force measurements were fabricated using direct bonding and microfabrication. Their features are self-sensing, self-actuation and low spring constant thus the cantilever

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 725 Kバイト