ドライエッチングを用いた水晶の三次元的微細加工とセンサへの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07037

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/12/07

タイトル(英語): 3D Microfabrication of Quartz-crystal using Dry Etching for Sensor Applications

著者名: 加藤 寛(東北大学),岸 宏樹(東北大学),西澤 松彦(東北大学),安部 隆(東北大学)

著者名(英語): Hiroshi Kato(Tohoku University),Hiroki Kishi(Tohoku University),Matsuhiko Nishizawa(Tohoku University),Takashi Abe(Tohoku University)

キーワード: 三次元的微細加工|水晶|反応性イオンエッチング|水晶振動子

要約(日本語): 本報では、反応性イオンエッチング技術によるフォトレジスト形状の水晶板への転写技術についての研究展開とその技術を用いた厚み滑りモード型の水晶振動子の高性能化と多機能化について報告する。具体的には、水晶とフォトレジストの選択比の調整により板厚分布を振幅分布に合わせると高性能化できることを実証した。また、一対の反対称の滑り振動モードを有する新設計のQCMの高性能化にも有効であることを示した。

要約(英語): This paper presents a microfabrication technology for 3D shaped quartz-crystal resonators using reactive ion etching and the applications to sensor. Dynamic controls of the etch selectivity in reactive ion etching was used for controlling the etched quart

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 381 Kバイト