サーフェイスマイクロマシニングを用いた無線通信デバイスの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS07042

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2007/12/07

タイトル(英語): Wireless RF-tunable devices by using a surface micromachining process

著者名: 小西 浩(ニコン,立命館大学),西山 円(ニコン,立命館大学),鈴木 純児(ニコン,立命館大学),手塚 靖夫(ニコン,立命館大学),鈴木 美彦(ニコン,立命館大学),鈴木 健一郎(ニコン,立命館大学)

著者名(英語): Hiroshi Konishi(Nikon Corporation,Ritsumeikan University),Madoka Nishiyama(Nikon Corporation,Ritsumeikan University),Junji Suzuki(Nikon Corporation,Ritsumeikan University),Yasuo Tezuka(Nikon Corporation,Ritsumeikan University),Yoshihiko Suzuki(Nikon Corporation,Ritsumeikan University),Kenichiro Suzuki(Nikon Corporation,Ritsumeikan University)

キーワード: 可変キャパシタ|静電駆動アクチュエータ|サーフェイスマイクロマシニング|キャパシタンスレシオ|マルチレベル構造|カメレオンアクチュエータ|アールエフメムス

要約(日本語): フォトレジストを犠牲層に用いたサーフェイスマイクロマシニングプロセスにより、新しい構造を有する可変キャパシタ2タイプ（Type:A, B）を開発した。Type:Aは、「Chameleon Actuators」を並列に配置し、デジタル駆動を採用することにより、C/R=35以上を達成した。一方Type:Bは、マルチレベル構造を有するアナログ静電駆動型可変キャパシタで、プルインを起こさずにC/Rが10を超える。

要約(英語): We have developed two types of variable capacitors by using an original surface micromachining process. One type is a digital RF MEMS capacitor using the Chameleon Actuators, and the other is an analog RF MEMS capacitor using electrostatic actuators consi

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 805 Kバイト