薄膜ピラニ真空センサの温度差検出による改良

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08007

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Improvement of the Thin Film Pirani Vacuum Sensor using Temperature Difference Detection Method

著者名: 高嶋 徳明(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Noriaki Takashima(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 温度センサ|ダイオード|半導体|MEMS|交流信号|真空センサ|ピラニゲージ|熱電対|電流検出|temperature sensor|diode|semiconductor|MEMS|AC signal|vacuum sensor|Pirani gauge|thermocouple|current detection

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 828 Kバイト