エピタキシャルPZT薄膜を用いた圧電型超音波トランスデューサアレイの製作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08008

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Fabrication of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers array using epitaxial PZT thin-films

著者名: 神社生朗 (豊橋技術科学大学),伊藤幹記 (豊橋技術科学大学),赤井 大輔(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),岡田 長也(本多電子),樋口 和樹(本多電子)

著者名(英語): Ikuo Kanja(Toyohashi Univ. Tech.),Mikinori Ito(Toyohashi Univ. Tech.),Daisuke Akai(Toyohashi Univ. Tech.),Kazuaki Sawada(Toyohashi Univ. Tech.),Makoto Ishida(Toyohashi Univ. Tech.),Nagaya Okada(Honda Electronics Co.,Ltd.),Kazuki Higuchi(Honda Electronics Co.,Ltd.)

キーワード: エピタキシャル|PZT|超音波トランスデューサ|2Dアレイ|epitaxial|PZT|Piezoelectric micromachined ultrasonic transducers(pMUT)|2D array

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,039 Kバイト