電解液を用いた静電容量型水平センサの作製

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Fabrication of Capacitance Type Level Sensor with Electrolyte Solution

著者名: 森永 秀樹(慶應義塾大学),松本 佳宣(慶應義塾大学)

著者名(英語): Hideki Morinaga(Keio University),Yoshinori Matsumoto(Keio University)

キーワード: 静電容量型|電気二重層|ポリジメチルシロキサン|炭酸プロピレン|チャージバランスC-Vコンバーター|capacitance type|electric double layer|polydimethylsiloxane|propylene carbonate|charge balanced C-V converter

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 769 Kバイト