超小型熱分析用センサの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Examination of the sensor for micro thermal analysis

著者名: 木村 大介(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Daisuke Kimura(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 温度センサ|熱分析|熱電対|電流検出|半導体|MEMS|カロリーメータ|ヒータ|temperature sensor|thermal analysis|thermocouple|current detection|semiconductor|MEMS|calorimeter

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,971 Kバイト