NiCr薄膜歪みゲージによるポリマー/Siカンチレバー型多軸触覚センサの高分解能化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08013

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Fabrication of High Resolution Multi-axis Tactile Sensor by Using Polymer/Si Cantilever with NiCr Thin Film Strain Gauge

著者名: 黄裕銘 (大阪大学),寒川 雅之(大阪大学),大西 浩之(大阪大学),金島 岳(大阪大学),奥山 雅則(大阪大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学),野間 春生(国際電気通信基礎技術研究所)

著者名(英語): Yu-Ming Huang(Osaka University),Masayuki Sohgawa(Osaka University),Hiroyuki Onishi(Osaka University),Takeshi Kanashima(Osaka University),Masanori Okuyama(Osaka University),Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology),Haruo Noma(Advanced Telecommunication Research Institute International)

キーワード: 触覚センサ|剪断力計測|表面マイクロマシニング|NiCr|歪みゲージ|エラストマー|tactile sensor|shear stress sensing|surface micromachining|NiCr|strain gauge|elastomer

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 569 Kバイト