イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08016

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Ion beam sputtering deposition of piezoelectric PZT thin films

著者名: 関 博紀(東北大学),川合 祐輔(東北大学),小野 崇人(東北大学),江刺 正喜(東北大学)

著者名(英語): Hironori Seki(Tohoku University),Yusuke Kawai(Tohoku University),Takahito Ono(Tohoku University),Masayoshi Esashi(Tohoku University)

キーワード: PZT薄膜|イオンビームスパッタ法|PZT thin film|Ion beam sputtering

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 650 Kバイト