DMD露光機を用いた感光樹脂製圧力センサの試作と評価

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08017

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): A pressure sensor fabricated by multiple exposure of photosensitive polymer

著者名: 岸田 雄介(兵庫県立大学),田口 正敏(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Yusuke Kishida(University of Hyogo),Masatoshi Taguchi(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|DMD|多重露光|マスクレス|圧力センサ|感光性樹脂|SU-8|MEMS|DMD|multiple exposure|maskless|pressure sensor|photosensitive polymer|SU-8

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 726 Kバイト