構造的応力制御によるSiO2ダイアフラム上圧電型超音波マイクロセンサの感度変化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08018

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Sensitivity Change by Contorol of Structual Stress in Piezoelctoric Ultrasonic Microsensors on SiO2 Diaphragms

著者名: 吉崎 智也(大阪大学),渡邊 友浩(大阪大学),山下 馨(京都工芸繊維大学,大阪大学),野田実(京都工芸繊維大学,大阪大学),奥山 雅則(大阪大)

著者名(英語): Tomoya Yoshizaki|Tomohiro Watanabe|Kaoru Yamashita|Minoru NodaKyoto Institute of Technology|Masanori Okuyama

キーワード: 超音波センサ|感度|静的撓み|構造的応力|Ultrasonic sensors|Sensitivity|Static deflection|Structural stress

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 517 Kバイト