移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08019

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/06/12

タイトル(英語): Development of lithographyless process for micromachine fabrication by transfer printing

著者名: 流郷謙一 (大阪府立大学),川田 博昭(大阪府立大学),安田 雅昭(大阪府立大学),平井 義彦(大阪府立大学)

著者名(英語): Kenichi Ryugo(Osaka Prefecture University),Hiroaki Kawata(Osaka Prefecture University),Masaaki Yasuda(Osaka Prefecture University),Yoshihiko Hirai(Osaka Prefecture University)

キーワード: マイクロマシン|カンチレバー|移植法|リソグラフィ無し|段差付きテンプレート|フロロカーボン|リリース力|maicromachine|cantilever|transfer printing|lithographyless|template with patterned step|fluorocarbon|release force free

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,047 Kバイト