振動型3軸MEMSジャイロの設計と試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08029

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/12/05

タイトル(英語): Vibratory 3-axis MEMS gyroscope

著者名: 高崇裕 (兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Takahiro Ko(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|ジャイロスコープ|3軸|振動型|コリオリの力|MEMS|gyroscope|3-axis|vibration|Coriolis force

要約(日本語): 本稿では、ひとつの円盤状構造体を用いて3軸の角速度の検出が可能な振動型MEMSジャイロの設計を行ったので報告する。このデバイスは4つの内部構造体が一つの外部構造体に支持された構造となっており、内部構造体の4方向の並進運動が参照振動となる。角速度が印加されるとコリオリ力が誘起され、内部構造体の面外運動及び外部構造体のトルクとなる。変位は検出電極との容量変化を測定することによって検出する。

要約(英語): In this paper, we report the design of an vibratory MEMS gyroscope which can measure the 3-axis angular velocity by single disk-like structure. Four inner structures are supported by one outer structure in this device, and the translatory drive of four d

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 283 Kバイト