PZT圧電薄膜を用いたMEMSジャイロに関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS08030

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2008/12/05

タイトル(英語): MEMS gyroscope using PZT piezoelectric thin film

著者名: 瀧野文哉 (JSTERATO),伊賀 友樹(JSTERATO),山口 晃広(JSTERATO),藤田 孝之(JSTERATO),前中一介神田健介 (JSTERATO)

著者名(英語): Fumiya Takino(JST ERATO),Yuki Iga(JST ERATO),Akihiro Yamaguchi(JST ERATO),Takayuki Fujita(JST ERATO),Kazusuke Maenaka Kensuke Kanda (JST ERATO)

キーワード: PZT|MEMS|音叉|ジャイロ|圧電体|ゾルゲル法|PZT|MEMS|Tuning fork|gyro|piezoelectric|sol-gel

要約(日本語): 本研究ではMEMSプロセスにより三つ又の音叉構造を持つ圧電ジャイロスコープの設計、試作を行ったので報告する。駆動源・検出にはシリコン梁上に成膜したPZT薄膜を用いた。PZT薄膜はゾルゲル法により成膜し、0.43umの膜厚としている。報告ではジャイロ構造の設計、PZT薄膜の諸特性などについて述べる。

要約(英語): In this paper, we describe about design and fabrication of a piezo-electric gyroscope with a trident tuning fork structure for MEMS processes. The PZT thin film on the silicon beam was used for driving source and detection. We obtained the PZT thin fil

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 610 Kバイト