QMEMSデバイスの応用に関する一考察

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09015

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/02/04

タイトル(英語): An industrial and applied review of new MEMS devices features

著者名: 田中 雅子(エプソントヨコム)

著者名(英語): Masako Tanaka(Epson Toyocom Corporation)

キーワード: 水晶|MEMS|加速度センサー|ジャイロセンサー|振動子|ノイズ|Oドリフト|温度特性|quartz|MEMS|accelerometer|Gyro-sensor|resonator|noise|zero drift|temperature dependency

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,080 Kバイト