MEMS等価回路ジェネレータの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09017

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Development of MEMS Equivalent Circuit Generator

著者名: 浅海 和雄(みずほ情報総研),藤原 信代(みずほ情報総研),水田 千益(数理システム),望月 俊輔(数理システム),小池 智之(マイクロマシンセンター),土屋 智由(京都大学),橋口 原(静岡大学)

著者名(英語): Kazuo Asaumi(Mizuho Information & Research Institute,Inc.),Nobuyo Fujiwara(Mizuho Information & Research Institute,Inc.),Chieki Mizuta(Mathematical System,Inc.),Shunsuke Mochizuki(Mathematical System,Inc.),Tomoyuki Koike(Micromachine Center),Toshiyuki Tsuchiya(Kyoto University),Gen Hashiguchi(Shizuoka University)

キーワード: 回路シミュレーション|等価回路|ビヘイビアモデル|集積化MEMS|circuit simulation|equivalent circuit|behavior model|CMOS-MEMS integration

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 528 Kバイト