赤外線センサ用真空パッケージング技術

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09021

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Vacuum Packaging Technology for Uncooled IRFPAs

著者名: 徳田 貴之(立命館大学),土永明延 (立命館大学),松村 剛至(立命館大学),木股 雅章(立命館大学),阿部 英之(アユミ工業),渡嘉敷 直隆(ミヨシ電子)

著者名(英語): Takayuki Tokuda(Ritsumeikan University),Akinobu Tsuchinaga(Ritsumeikan University),Takeshi Matsumura(Ritsumeikan University),Masafumi Kimata(Ritsumeikan University),Hideyuki Abe(Ayumi Industry Co.,LTD),Naotaka Tokashiki(Miyoshi Electronics Corporation)

キーワード: 真空封止|非冷却赤外線センサ|マイクロ真空計|ゲッター|MEMS|vacuum packaging|uncooled infrared focal plane arrays|micro-vacuum gauge|getters|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,091 Kバイト