高感度薄膜ホール素子の特性と実用化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09026

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

著者名: 柴崎一郎 (旭化成)

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 896 Kバイト