インテリジェントセンサの夢と鉄道応用の可能性

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09030

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Dreams of Intelligent Sensors and Their Applicability to Railroad System

著者名: 前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|センサ|マイクロマシニング|集積回路|集積化|パワーMEMS|MEMS|Sensor|Micromachining|Integrated Circuit|Integration|Power MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 855 Kバイト