強磁性体薄膜を利用したカンチレバ共振型磁気センサの検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09032

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Investigation on the Cantilever-Resonance type Magnetic Sensor Using a Ferromagnetic Thin Film

著者名: 千葉 久統(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Hisato Chiba(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 磁気センサ|共振周波数|強磁性体薄膜|磁気特性|PZT|MEMS|magnetic sensor|Resonance frequency|Ferromagnetic film|magnetic properties|PZT|MEMS

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 629 Kバイト