熱伝導型圧力センサにおけるカンチレバ強制振動の効果の検討

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09033

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Investigation on effects of Forced Vibration of the Cantilever in Thermal Conduction Type Pressure Sensor

著者名: 高嶋 徳明(東北学院大学),木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Noriaki Takashima(Tohoku Gakuin University),Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 真空センサ|温度センサ|熱電対|振動|vacuum sensor|temperature sensor|thermocouple|vibration

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 711 Kバイト