圧電ダイアフラム型超音波マイクロセンサのバイアス電圧印加による共振周波数変化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09034

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Resonant Frequency Change of Piezoelectric Diaphragm-Type Ultrasonic Microsensors by Bias Voltage Application

著者名: 山下 馨(京都工芸繊維大学),良川 慧太(京都工芸繊維大学),冨山 賢司(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

著者名(英語): Kaoru Yamashita(Kyoto Institute of Technology),Keita Yoshikawa(Kyoto Institute of Technology),Kenji Tomiyama(Kyoto Institute of Technology),Minoru Noda(Kyoto Institute of Technology)

キーワード: 超音波センサ|圧電体|ダイアフラム|共振周波数|チューニング|応力|Ultrasonic sensor|Piezoelectric|Diaphragm|Resonant frequency|Tuning|Stress

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 712 Kバイト