集積化触覚センサ用NiCrゲージ薄膜の抵抗温度係数の低減

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09035

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Reduction of Temperature Coefficient of Resistance of NiCr-Gauge-Thin-Film for Intergraded Tactile Sensor

著者名: 橘弘人 (大阪大学),釜鳴志郎 (大阪大学),松浦宏俊 (大阪大学),寒川雅之 (大阪大学),金島岳 (大阪大学),奥山雅則 (大阪大学),山下馨 (大阪大学,京都工芸繊維大学),野田実 (大阪大学,京都工芸繊維大学),京都工芸繊維大学 (ATR),野間春生 (ATR)

著者名(英語): H.Tachibana (Osaka Univ.),S.Kamanaru (Osaka Univ.),H.Matsuura (Osaka Univ.),M.Sohgawa (Osaka Univ.),T.Kanashima (Osaka Univ.),M.Okuyama (Osaka Univ.),K.Yamashita (Osaka Univ.,Kyoto Inst.of Tech.),M.Noda (Osaka Univ.,Kyoto Inst.of Tech.),Kyoto Inst.of Tech (ATR),M.Noma (ATR)

キーワード: 触覚センサ|カンチレバー|ひずみゲージ|ニッケルークロム|抵抗温度係数|tactile sensor|cantilever|strain gauge|NiCr|temperature coefficient of resistance

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 691 Kバイト