リングレーザジャイロを指向したSi(111)面可動ミラーの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09038

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Movable Silicon Mirrors Designed for an MEMS Ring Laser Gyroscope

著者名: 前家 純二(兵庫県立大学),橋本 泰知(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Junji Maeya(University of Hyogo),Taichi Hashimoto(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: MEMS|リングレーザジャイロ|櫛歯アクチュエータ|光学素子|DRIE|MEMS|ring laser gyro|comb drive actuator|optical element|DRIE

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 967 Kバイト