マルチモード干渉を利用したSi光導波路の平面交差とその慣性センサヘの応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09039

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): Planar intersection of silicon waveguides using multimode interference and its application for inertial force sensor

著者名: 鈴木 昌人(関西大学),河合 剛(関西大学),青柳 誠司(関西大学),横出 新(広島大学),福山 正隆(広島大学)

著者名(英語): Masato Suzuki(Kansai University),Gou Kawai(Kansai University),Seiji Aoyagi(Kansai University),Shin Yokoyama(Hiroshima University),Masataka Fukuyama(Hiroshima University)

キーワード: 慣性力センサ|光導波路|シリコン･フォトニクス|マッハツェンダ干渉計|光交差|inertial force sensor|optical waveguide|Si photonics|Mach-Zehnder interferometer(MZI)|optical intersection

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 865 Kバイト