DMD露光機における多重露光を利用した静電容量型加速度センサの試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09040

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): A Capacitance Type MEMS Accelerometer Fabricated by a Method of Multiple Exposures

著者名: 豊永 智彦(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学)

著者名(英語): Tomohiko Toyonaga(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo)

キーワード: 静電容量型|加速度センサ|DMD|マスクレス|多重露光|SU‐8|Capacitance type|accelerometer|DMD|Maskless|Multiple exposures|SU-8

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,557 Kバイト