振動型MEMS加速度センサの高Q値振動梁形状の設計と試作

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09041

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/07/23

タイトル(英語): A design and trial manufacturing of the high mechanical quality factor vibration beam shape of a vibration type MEMS acceleration sensor

著者名: 永田 和幸(兵庫県立大学),伊賀 友樹(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中一介 (兵庫県立大学),神田 健介(JST ERATO)

著者名(英語): Kazuyuki Nagata(University of Hyogo),Yuki Iga(University of Hyogo),Takayuki Fujita(University of Hyogo),Kazusuke Maenaka(University of Hyogo),Kensuke Kanda(JST ERATO)

キーワード: MEMS|加速度センサ|振動型加速度センサ|音叉|MEMS|acceleration sensor|vibratory beam accelerometer|Tuning fork

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 664 Kバイト