MEMS熱伝導型センサとその応用

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS09050

グループ名: 【E】センサ･マイクロマシン部門　フィジカルセンサ研究会

発行日: 2009/12/11

タイトル(英語): MEMS Thermal Conductivity Type Sensor and Its Applications

著者名: 木村 光照(東北学院大学)

著者名(英語): Mitsuteru Kimura(Tohoku Gakuin University)

キーワード: 温度センサ　ヒータ　熱伝導型センサ　MEMS圧力センサ　フローセンサ|temperature sensor|heater|thermal conductivity sensor|MEMS|pressure sensor|flow sensor

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,025 Kバイト