宇宙用MEMSジャイロセンサ用ICの開発

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10009

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/02/01

タイトル(英語): Development of Integrated Circuits for Space application MEMS Gyro sensor

著者名: 柴尾 新路(三菱プレシジョン),小林 健二(三菱プレシジョン),番 政広(三菱プレシジョン)

著者名(英語): Shibao Shinji(Mitsubishi Precision ),Kobayashi Kenji(Mitsubishi Precision ),Tugai Masahiro(Mitsubishi Precision )

キーワード: ジャイロ|メムスセンサ|集積化センサ|容量検出回路|Gyro|MEMS Sensor|Integrated Sensor|Capacitive interface circuits

要約(日本語): 宇宙用MEMS ジャイロセンサへの適用を前提としたジャイロセンサ用IC(Integrated Circuits)集積回路の開発を行っている。①MEMSが検出する角速度に応じた容量変化を電気に変換する低雑音のCV-IC ②MEMSの駆動中心周波数を位相同期によって検出し、MEMS駆動信号,CV-ICチョッパークロック,CV-IC出力デジタル信号処理用クロックを生成する低ジッタ,高周波数精度のPLL-IC③上記PLL-ICの入出力とMEMSの駆動入力及び駆動モニタ出力との間に配置され、駆動モニタを一定に動作する高精度のAGC（Automatic_Gain_Control 自動利得制御）回路やMEMSに必要な低温で小振幅,高温で大振幅の電圧を生成する広ダイナミックレンジ駆動回路を備えたアナログ-ICについて、その機能特徴について発表する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 4,452 Kバイト