MEMSガスジャイロ用ホットワイヤと流路形状に関する研究

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10011

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/02/01

タイトル(英語): Study on design of Hotwire for MEMS Gas Gyroscope

著者名: 松木 勇介(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学)

著者名(英語): Matsuki Yusuke(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo)

キーワード: ガスジャイロ|ＭＥＭＳ|ホットワイヤ|Gas Gyroscope|MEMS|Hotwire

要約(日本語): 我々はMEMSガスジャイロの研究を行っている。本研究ではガスジャイロのポンプ部と検出部を一体化させ、従来の循環流ではなく往復流を用いることで小型化、量産化を目指している。今回、検出部のホットワイヤの温度特性について評価をした。またホットワイヤとガスジャイロの流路形状の関係についても評価した。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,086 Kバイト