モノリシック３軸MEMSジャイロ

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: PHS10012

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門 フィジカルセンサ研究会

発行日: 2010/02/01

タイトル(英語): monolithic triaxial MEMS gyroscope

著者名: 高 崇裕(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

著者名(英語): Ko Takahiro(University of Hyogo),Fujita Takayuki(University of Hyogo),Maenaka Kazusuke(University of Hyogo)

キーワード: ＭＥＭＳ|ジャイロスコープ|モノリシック|３軸|コリオリの力|MEMS|gyroscope|triaxial|monolithic|Coriolis force

要約(日本語): ひとつの円盤状構造体を用いて3軸の角速度が検出可能なMEMSジャイロの設計・試作を行ったので報告する。このデバイスは振動型ジャイロであり、四つの内部構造体がひとつの外部構造体に支持された構造となっており、内部構造体の同心円上4方向の並進運動が参照振動となる。印加された角速度によってコリオリ力が誘起され、内部の４構造体の面外運動及び外部支持構造体のトルクとなり、検出電極との容量変化を測定することによって検出できる。本報告では試作及び共振について報告する。

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 2,963 Kバイト